산업통상부는 글로벌 안전기준을 충족한 반도체 제조장비에 특정설비 기준을 적용하는 내용의 ‘고압가스 안전관리법 시행령’ 일부 개정안이 이날 국무회의에서 의결됐다고 2일 밝혔다. 사진은 메모리 반도체 그래픽. / 더팩트 DB

[더팩트ㅣ세종=정다운 기자] 반도체 핵심 공정에 사용되는 극자외선(EUV) 장비 도입 기간이 최대 25일 단축된다. 검사 비용도 장비당 약 5억원 줄어들 전망이다.

산업통상부는 글로벌 안전기준을 충족한 반도체 제조장비에 특정설비 기준을 적용하는 내용의 ‘고압가스 안전관리법 시행령’ 일부 개정안이 이날 국무회의에서 의결됐다고 2일 밝혔다.

이번 개정으로 EUV 장비 검사 절차는 기존 34일에서 9일로 최대 25일 단축된다. 기술검토 기간은 15일에서 2일로 줄고 중간검사는 폐지된다. 완성검사도 7일에서 2일로 단축되며 허가 기간은 5일로 유지된다.

해외 공인검사기관이 수행하던 중간검사가 제외되면서 장비당 약 5억원의 내압·기밀 검사 비용도 줄어들 것으로 기대된다.

그간 EUV 장비는 내부에 고압가스 배관과 장치가 포함돼 있다는 이유로 고압가스 제조설비로 분류돼 왔다. 이에 따라 장비 설치 때마다 기술검토와 검사를 받아야 해 도입 지연과 비용 부담이 발생한다는 지적이 제기됐다.

산업부는 EUV 장비를 고압가스 제조시설에서 특정설비로 전환하는 대신 제조사 공장심사와 종합공정검사를 통해 안전성을 확보할 방침이다.

정부는 이번 제도 개선으로 국내 반도체 기업들이 첨단 제조장비를 적기에 도입하고 생산라인 구축 속도도 높일 수 있을 것으로 기대하고 있다.

시행규칙 개정도 추진한다. 물과 세탁세제 대신 이산화탄소를 사용하는 액화 이산화탄소 세정설비의 검사 기준을 신설하고, 상업용 액화 이산화탄소 세정설비와 고압가스 저장시설 등 위험성이 낮은 시설의 안전관리자 선임 기준을 정비할 계획이다.

김정관 산업부 장관은 "안전 확보와 첨단산업 경쟁력 강화를 동시에 달성하기 위한 규제혁신 사례"라며 "첨단산업 투자를 적극 지원하겠다"고 말했다.
danjung638@tf.co.kr

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