[더팩트 | 아산=김아영 기자] 충남 아산 호서대학교는 배병성 교수팀이 최초로 계면산화막을 절연막으로 사용하는 수직구조 트랜지스터를 개발했다고 28일 밝혔다.
이번 연구를 통해 기존 화학기상증착기를 사용하지 않고 반도체 재료와 금속과의 경계면에서의 반응을 이용해 산소 분위기에서 열처리를 진행, 얇은 산화막을 형성했다..
연구 결과는 최근 세계적인 과학 저널 네이처(Nature)의 자매지인 사이언티픽 리포트(Scientific Reports) 온라인판에 게재됐다.
배 교수는 "새로운 아이디어나 실패 위험이 높은 고위험 연구를 지원하는 연구재단의 덕분에 이루어진 연구 성과"라며 "앞으로도 도전적인 연구를 통해 창의적인 성과를 창출해낼 것"이라고 말했다.
thefactcc@tf.co.kr
- 발로 뛰는 <더팩트>는 24시간 여러분의 제보를 기다립니다.
- · 카카오톡: '더팩트제보' 검색
- · 이메일: jebo@tf.co.kr
- · 뉴스 홈페이지: https://talk.tf.co.kr/bbs/report/write
- · 네이버 메인 더팩트 구독하고 [특종보자→]
- · 그곳이 알고싶냐? [영상보기→]