[더팩트ㅣ수원=이승호 기자] 세계 반도체 이온주입 장비 시장을 주도하는 미국 엑셀리스(Axcelis Technologies)가 경기 평택에 575억 원을 투자해 아시아 핵심 생산 거점을 구축한다.
미국에서 생산하던 일부 장비까지 한국으로 이전할 계획이어서 국내 반도체 공급망에도 변화가 예상된다.
경기도는 20일 평택 오성 외국인투자지역에서 엑셀리스 아시아 거점센터 착공식을 열었다.
추미애 경기도지사와 최원용 평택시장, 러셀 로우 엑셀리스 사장 겸 최고경영자(CEO), 박영근 엑셀리스코리아 대표, 산업통상부와 KOTRA 관계자, 삼성전자·SK하이닉스 등 주요 고객사 관계자 50여 명이 착공식에 참석했다.
엑셀리스는 평택 오성 외국인투자지역 2만 2326.5㎡ 부지에 575억 원(4100만 달러)을 투자해 연면적 1만 8800㎡ 규모의 아시아 거점센터를 조성한다. 기존 평택 아시아 운영센터(AAOC)를 확장·이전하는 증액투자로, 2028년 상반기 준공이 목표다.
신규 시설에는 반도체 이온주입 장비 제조용 클린룸과 아시아·유럽 부품 공급을 위한 허브창고, 고객 트레이닝센터가 들어선다. 특히 미국에서 생산하던 일부 장비와 제품을 한국으로 이전해 아시아 수출 물량의 국내 생산 비중을 높일 계획이다.
이를 통해 국내 고객사에 대한 장비 공급과 기술지원 역량을 강화하고, 글로벌 반도체 공급망에서 한국의 역할도 확대한다는 구상이다.
추미애 지사는 착공식에서 "경기도를 믿고 이곳 평택에서 새로운 도약에 나선 엑셀리스 아시아 거점센터 착공을 진심으로 축하한다"며 "생산과 물류, 고객 교육까지 기능을 확대하는 뜻깊은 출발"이라고 말했다.
이어 "전력과 용수를 안정적으로 확보하기 위해 중앙정부, 관계 기관과 긴밀히 협력하고 있으며 직접 반도체초격차위원회도 운영하고 있다"면서 "세계적인 기업들이 경기도를 주저 없이 선택할 수 있도록 결과로 증명하겠다"고 강조했다.
러셀 로우 CEO는 "단순한 생산능력 확대를 넘어 글로벌 기술력과 한국의 우수한 제조 역량을 연결하는 중요한 투자"라며 "국내 고객사, 협력사와의 파트너십을 토대로 AI 시대 반도체 혁신을 뒷받침하겠다"고 말했다.
도는 엑셀리스의 투자를 유치하기 위해 미국 본사 임원 면담부터 적합 부지 발굴, 인허가 협의까지 단계별 지원을 이어왔다. 한국과 싱가포르, 말레이시아 간 투자입지 경쟁 끝에 엑셀리스는 경기도를 선택했으며, 지난달 평택 오성 외국인투자지역 입주계약을 체결했다.
엑셀리스코리아는 2022년 국내 제조를 시작한 이후 국내 중소기업 35개사와 협력관계를 구축했다. 신규 거점센터 가동으로 도내 반도체 소재·부품·장비 기업과의 협력도 확대될 전망이다.
미국 매사추세츠주에 본사를 둔 엑셀리스는 세계 이온주입 장비 시장의 양대 기업 가운데 하나다. 대표 제품인 '퓨리온(Purion)' 시리즈는 반도체의 전기적 특성을 정밀하게 조절하는 이온주입 공정에 사용된다. 특히 전기차와 산업용 전력기기에 쓰이는 실리콘카바이드(SiC) 전력반도체 분야에서 기술 경쟁력을 갖추고 있다.
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