[더팩트ㅣ화성=유명식 기자] 경기 화성시가 글로벌 반도체 장비 1위 기업으로부터 1조 원 규모의 투자를 확정지었다.

4일 화성시에 따르면 네덜란드 ASML은 차세대 노광장비(High NA EUV)를 활용한 삼성전자의 초미세 반도체 제조공정 연구개발(R&D) 지원시설을 동탄2신도시 내에 건립하기 위해 지난달 28일 한국토지주택공사(LH)와 부지 매매계약을 맺었다.

ASML은 1조 원가량을 들여 반도체 장비 부품 제조센터와 엔지니어 트레이닝센터 등을 조성할 것으로 전해졌다.

ASML은 반도체 기판에 집적회로를 프린팅하는 설비인 극자외선(EUV) 노광장비를 전 세계에서 유일하게 생산하는 기업이다. ASML의 EUV 노광장비는 반도체 업체들이 주문을 넣고 1년 이상은 기다려야 할 정도로 품귀현상을 빚는 제품이다.

정명근 화성시장은 이날 방한 중인 ASML 프랭크 헤임스케르크 대외총괄부사장을 만나 LH와의 계약 체결에 고마움을 전했다.

간담회에는 오니 얄링크 주한 네덜란드 부대사 등도 함께했다.

정 시장은 "ASML이 삼성전자 연구지원시설 건립 부지로 화성시를 선택해 줘 감사하다"면서 "인허가부터 밀착 지원하겠다"고 말했다.

또 우리 정부가 추진 중인 첨단반도체기술센터(ASTC)의 화성 유치를 위해 지원을 요청했다.

프랭크 헤임스케르크 ASML 부사장은 "화성시의 전폭적인 지원으로 신규 투자가 계획대로 순조롭게 진행되고 있다"며 "연구지원시설 건립은 삼성전자와의 기술동맹을 돈독히 하고 화성시 반도체 기업과의 협력을 강화하는 계기가 될 것"이라고 말했다.

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